原子熒光光譜儀又稱為原子熒光光度計，是上世紀(jì)60年代中期提出并迅速發(fā)展起來的新型光譜技術(shù)。原子熒光光譜法(AFS)是原子光譜法中的一個重要分支，是介于原子發(fā)射(AES)和原子吸收(AAS)之間的光譜分析技術(shù)。原子蒸氣吸收特定波長的光輻射的能量而被激發(fā)，受激原子在去激發(fā)過程中發(fā)射出一定波長的光輻射稱為原子熒光，利用原子在輻射激發(fā)下發(fā)射的熒光強度來定量分析的方法,即為原子熒光光譜分析法。
原子熒光光譜法的優(yōu)點：
（1）有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當(dāng)?shù)偷臋z出限，Cd可達0．001ng/cm、Zn為0.04ng/cm現(xiàn)已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發(fā)光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
（2）干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結(jié)構(gòu)簡單，價格便宜。
（3）分析校準(zhǔn)曲線線性范圍寬，可達3～5個數(shù)量級。
（4）由于原子熒光是向空間各個方向發(fā)射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現(xiàn)多元素同時測定。
原子熒光光譜儀的結(jié)構(gòu)：
1、激發(fā)光源
可用連續(xù)光源或銳線光源。常用的連續(xù)光源是氙弧燈，常用的銳線光源是高強度空心陰極燈、無極放電燈、激光等。連續(xù)光源穩(wěn)定，操作簡便，壽命長，能用于多元素同時分析，但檢出限較差。銳線光源輻射強度高，穩(wěn)定，可得到更好的檢出限。
2、原子化器：
原子熒光分析儀對原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同。但所用的火焰與AAS的不同，主是因為在通常的AAS火焰中，熒光猝滅嚴(yán)重，必須用Ar稀釋的火焰。當(dāng)用氫化物發(fā)生法時，直接使用Ar氣氛下的石英加熱方法進行原子化。
原子化效率高
低的輻射背景和背景閃爍
原子熒光猝滅效應(yīng)低
被測元素的原子在光路中有較長的停留時間
原子化效率穩(wěn)定，記憶效應(yīng)小，操作簡單
使用成本低
3、光學(xué)系統(tǒng)：
光學(xué)系統(tǒng)的作用是充分利用激發(fā)光源的能量和接收有用的熒光信號，減少和除去雜散光。色散系統(tǒng)對分辨能力要求不高，但要求有較大的集光本領(lǐng)，常用的色散元件是光柵。非色散型儀器的濾光器用來分離分析線和鄰近譜線，降低背景。非色散型儀器的優(yōu)點是照明立體角大，光譜通帶寬，集光本領(lǐng)大，熒光信號強度大，儀器結(jié)構(gòu)簡單，操作方便。缺點是散射光的影響大。
4、檢測器：
常用的是光電倍增管，在多元素原子熒光分析儀中，也用光導(dǎo)攝象管、析象管做檢測器。檢測器與激發(fā)光束成直 角配置，以避免激發(fā)光源對檢測原子熒光信號的影響。
