雖然國產ICP光譜儀本身測量精度很高，但在測定樣品中元素含量時，結果往往與真實含量不一致，存在一定誤差。而且，由于多種因素的影響，有些材料的含量很低。以下是對錯誤的類型和來源以及如何避免錯誤的分析。根據誤差的性質和原因，光譜儀的誤差主要來自這兩個方面：
1、國產ICP光譜儀系統錯誤的來源
（1）當標準樣品和樣品的含量和化學成分不*相同時，基質線和分析線的強度可能會發生變化，從而引入誤差。
（2）當標準樣品和樣品的物理性質不同時，激發特征線會不同，導致系統誤差。
（3）鑄鋼試樣的金屬組織與退火、淬火、回火、熱軋和鍛鋼試樣的金屬組織不同時，測得的數據也會不同。
（4）未知元素譜線的重疊干擾。例如，在冶煉過程中加入脫氧劑和脫磷劑時，會混入未知合金元素，造成系統誤差。
（5）為消除系統誤差，必須嚴格遵守標準樣品制備的要求。為了檢查系統誤差，需要使用化學分析方法來分析校準結果。
2、意外錯誤的來源
與樣品組成不均勻相關的誤差。由于國產ICP光譜儀光電光譜分析消耗樣品少，樣品中元素和結構分布不均，導致不同部位的分析結果不同，從而產生意外誤差。主要原因如下：
（1）冶煉過程中帶入的夾雜物和偏析導致試樣中元素分布不均。
（2）缺陷、氣孔、裂縫、砂孔等。
（3）研磨圖案重疊、研磨樣品過熱、樣品研磨面放置時間長、指紋按壓等因素。
（4）為減少意外誤差，需仔細取樣以消除樣品異質性及鑄件缺陷，或需重復分析以減少分析誤差。
